اصول رسوب دهی فیزیکی بخار در فیلمهای نازک + هندبوک
اصولاً لایه نازک به لایه ای اطلاق می شود که ضخامت آن در محدوده کسری از نانومتر تا یک میکرون باشد. تاریخچه استفاده از لایه های نازک به حدود 3400 سال پیش بر میگردد اما استفاده از این دانش در 30 سال اخیر به شدت گسترش یافته ...